这是一张电子厂洁净室抽风系统图，从图上可以看出机器抽风和维持风压差抽风是分开的。维持静压抽风机安装有变频器，用于控制洁净室风压差，图纸虽然简单，但对洁净室的设计和施工仍有十分重要的参考价值。