激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。
LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的缩写，意为通过受激发射线的放射达到光的放大，即激光。
大多数现代位移干涉仪都使用氦氖 (He-Ne) 激光管，这些激光管具有633纳米 (nm) 的波长输出。